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接口
FMA6600系列和FMA6700系列流量計的所有功能均可通過本地四臺訪問按鍵鍵盤和液晶屏。數字接口通過RS485(可選RS-232)工作,且提供相關內部數據訪問,包括:流量、溫度、壓力讀數、自動零、總計器和報警設置、氣體表、換算系數和工程單元選擇,動態響應補償和線性化表調整。模擬接口提供0到5伏直流或0到10伏直流或4到20毫安輸出用于流量、壓力和溫度(跳線)可選擇)。
自動歸零
FMA6600和FMA6700系列支持可激活的自動傳感器零偏移調節本地通過鍵盤進行,或通過數字接口遠程作。自動歸零功能完全不需要在自動歸零過程中,流量通過表。會做出啟動、停止或保存的安排通過數字指令自動歸零的當前值。
總量:
氣體總體積通過與時間的實際流量積分計算。鍵盤菜單和數字接口命令均可實現:
將總計器設置為零
開始在預設流量下進行總計
在預設總體積下分配動作
開始/停止對流量進行總計
讀totalizer totalizer條件變為真,當totalizer讀數和“停止于Total”體積是相等的。
流量報警
高流量和低氣流量警報限額可通過鍵盤預設,或通過數字接口遠程編程。當電流流量讀數相等或高于/低于對應時,警報條件即為真高低警報級別的數值。警報動作可以按預設的延遲間隔(0-3600秒數)以激活接點關閉器(分別用于高電平報警和低電平報警)。壓力報警(FMA6700串聯)高壓和低壓報警限值可以通過鍵盤預設,或遠程通過數字方式設置接口。當當前壓力讀數相等或更高時,壓力報警條件即為真實比對應的高壓報警設置值或等于或更低于相應的低壓報警設置。可以指定警報動作來激活接點近門器(分別用于高壓和低壓報警)。溫度報警(FMA6700系列)高低氣體溫度ALARM限額可以通過鍵盤預編程,也可以通過數字接口遠程編程。溫度報警當當前溫度讀數等于或高于對應溫度時,條件即為真高溫報警設置的值,或與相應的低溫值相等或更低溫度報警設置。可以指定警報動作來激活接點近門器(分別用于高溫和至低溫度報警)。
工程單位
流量設定點、測量氣體流量及相關的總量器數據在工程中直接進行縮放通過前面板按鍵或數字接口進行設備作。支持以下計量單位:百分比F.S.、L/min、L/h、mL/min、mL/h、SCFH、SCFM、LbPH、LbPM、用戶定義EU。
多氣體校準
FMA6600系列能夠存儲多達10種氣體的初級校準數據。該功能允許同一FMA6600系列在保持額定精度的同時,對多種氣體進行校準每。
標準10點NIST校準
可選,至多可訂購9個額外10點校準,每氣需額外充電。
轉換系數
FMA6600和FMA 6700系列存儲至多32種氣體的轉換系數。此外,為用戶自定義轉換因子提供了配置。換算因子可以應用于任意十個氣體校準通過按鍵或數字接口命令進行。
接觸閉合
提供兩組干式接點繼電器輸出以驅動用戶提供的設備。這些是可通過本地鍵盤或數字接口編程,使得繼電器在指定事件發生(例如當流量、壓力或溫度的低或高流量或溫度報警限制被超過時)或當總計器達到指定值時)。
至大泄漏完整性:
氦氣1×10-9 scc,泄漏到外部環境。
規格
精度:
FMA6700:± FS的1%含線性度[0至50℃,0.35至6.8巴(5至100 psia)]
FMA6600:校準條件下FS的±1% [101 KPa(14.7 psia)和21.1℃(70℉)]
壓力范圍:0至6.8巴(100 psig)(測量)
壓力精度:FS
溫度范圍的±1%)0至50℃(測量)
溫度精度:±1℃
重復性:±0.15% 全刻度
響應時間:單位可達10 LPM @1.0秒,單位超過10 LPM @2秒,距離設定點±2%以內,超過25%至100%
溫度系數 溫度系數:0.15% 或更高
壓力系數:0.01% 全刻度/psi(0.07 bar)或更高
至大氣體壓力:6.8 bar(100 psig)
至大爆發壓力:13.6 bar (200 psig)
至大壓降:8 psi(流量100 L/min)
氣體及環境溫度:5 至 50℃(41 至 122℉)
輸出信號:線性 0 至 5 V直流(3000 Ω 分鐘負載阻抗);0至10伏直流(6000 Ω微阻抗);可選4到20毫安(500. max環路電阻)。至大噪聲峰值20 mV。
輸入功率:可選擇三種不同電壓:標準為±15V直流(±至大200 mA)或+12V直流(至大300 mA);+24V直流(至大250毫安)可選(-24VDC);電路板內置極性反轉保護。可復位保險絲提供電源輸入保護。
流體接觸材料:316不銹鋼,FKM O型圈。可選EPDM或全氟彈性體O型圈
連接方式:
型號≥15 LPM:標準1/4英寸壓縮接頭
20至50 LPM型號:標準1/4英寸壓縮接頭
60至100 LPM型號:標準3/8英寸壓縮接頭
顯示:128 x 64圖形帶背光的液晶顯示器(至多8行文字)
校準:標準一,級10點NIST校準。可選訂購至多9項額外校準,按氣體額外充電。
CE合規:EN 55011 1類B類;EN50082-1
環境(依IEC 664):安裝等級II;污染等級II
預計運輸重量:
15 SLPM以下型號 SLPM:1.68公斤(3.7磅)
20至100 LPM型號:1.97公斤(4.34磅)
OMEGA流量計訂貨信息:
|
流量計型號 |
流量/壓力/溫度型號 |
至大流量(n2) |
壓力接頭 |
|
FMA6601 |
FMA6701 |
10 cc/min SCCM |
1??" |
|
FMA6602 |
FMA6702 |
20 cc/min SCCM |
1??" |
|
FMA6603 |
FMA6703 |
50 cc/min SCCM |
1??" |
|
FMA6604 |
FMA6704 |
100 cc/min SCCM |
1??" |
|
FMA6605 |
FMA6705 |
200 cc/min SCCM |
1??" |
|
FMA6606 |
FMA6706 |
500 cc/min SCCM |
1??" |
|
FMA6607 |
FMA6707 |
1 LPM |
1??" |
|
FMA6608 |
FMA6708 |
2 LPM |
1??" |
|
FMA6609 |
FMA6709 |
5 LPM |
1??" |
|
FMA6610 |
FMA6710 |
10 LPM |
1??" |
|
FMA6611 |
FMA6711 |
15 LPM |
1??" |
|
FMA6612 |
FMA6712 |
20 LPM |
1??" |
|
FMA6613 |
FMA6713 |
30 LPM |
1??" |
|
FMA6614 |
FMA6714 |
40 LPM |
1??" |
|
FMA6615 |
FMA6715 |
50 LPM |
1??" |
|
FMA6616 |
FMA6716 |
60 LPM |
3??" |
|
FMA6617 |
FMA6717 |
80 LPM |
3??" |
|
FMA6618 |
FMA6718 |
100 LPM |
3??" |
電源單獨出售。
注:流量為STP條件下氮氣(1氣壓下21.1℃(70℉))的標準)。
對于12V直流電源,型號后加上“-12VDC”后綴;價格加100美元。
對于24V直流電力,型號后加上“-24VDC”后綴;價格加200美元。
對于花氟彈性體、Buna或EPR環、錄像機配件或RS232通信,請咨詢Flow Engineering獲取報價。
每多加一個校準,零件號后加上-(*),成本加300美元。
校準僅在環境溫度下進行。
對于氧氣清洗過的設備,型號后加上后綴“-C”;價格加125美元。
(上述“注釋”中顯示的期權以美元計價)